擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預(yù)抽，擴散泵主體及擋板均有改進，使得在較低真空領(lǐng)域抽速有較大成度增加。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統(tǒng)，可獲得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。擴散泵系列真空機組可作為真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設(shè)備的高真空獲得裝置，以及其它需要在10-1 --10…